Принцип действия прибора основан на возбуждении и регистрации характеристического излучения химических элементов, интенсивность которого находится в определенной зависимости от количественого содержания этих элементов в анализируемом материале. В качестве источника возбуждающего излучения используется маломощная рентгеновская трубка. Характеристическое излучение определяемых элементов выделяестя с помощью селективных рентгеновских фильтров и пропорциональных счетчиков.
Анализ начинается с заливки анализируемой пробы в кювету, установки ее в пробозагрузочное устройство прибора и продолжается от 10 до 1000 сек. в зависимости от анализируемого материала и требуемой точности анализа.Прибор полностью управляется компьютером. Результаты выводятся на дисплей, распечатываются на принтере.